课程内容

课时1：微波等离子体化学气相沉积过程数值模拟现状

(1)微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)介绍

(2)MPCVD数值模拟方法

(3)MPCVD数值模拟发展现状

课时2：基于电子漂移扩散理论模型介绍及结果展示

(1)MPCVD模拟所使用到的Comsol软件模块介绍

(2)基础建模步骤介绍

(3)电子漂移扩散理论模型展示

(4)模拟结果展示及结果后处理

课时3：基于唯象方程(德国Funer改进模型)模型介绍及结果展示

(1)唯象模型基础方程介绍

(2)基础建模步骤介绍

(3)唯象模型展示

(4)2D及3D模拟结果展示及结果后处理

课时4：基于唯象方程(日本Yamda改进模型)模型介绍及结果展示

(1)唯象模型基础方程介绍

(2)基础建模步骤介绍

(3)唯象模型展示

(4)2D及3D模拟结果展示及结果后处理

(5)不同模型之间的结果对比

讲师介绍

西北工业大学，博士毕业。长期致力于研究相场法微观组织模拟，宏观电磁场，等离子体，温度场，流场，应力场模拟等相关领域，在教学领域有丰富的经验，通过理论讲解和案例实操相结合的授课方式，课堂生动形象，内容深入浅出，备受广大学员喜爱。近年来参与国家级项目3项，省部级项目5项。在国内外权威期刊上发表论文数篇。

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